江苏博鸿半导体表面处理材料专用耙式干燥机 

螺带真空烘干成套设备 

江苏博鸿半导体表面处理材料专用耙式干燥机是一种应用于半导体制造领域的干燥设备，主要用于处理晶圆清洗剂、蚀刻液、抛光浆料等半导体表面处理相关的精细化学品。该设备采用全密闭式结构，配备精密控制的耙式搅拌系统。通过耙齿的匀速转动，使物料在加热夹套表面均匀翻动，利用间接传导加热方式实现溶剂的低温蒸发。设备配备高真空系统和溶剂回收装置，能够在40-80℃温度范围内完成干燥过程，有助于保持热敏性材料的化学特性。所有接触物料部分均采用高纯度316L不锈钢材质，表面经过电解抛光处理，设备密封性能符合半导体行业标准。这种干燥方式适用于半导体表面处理材料生产中具有高纯度要求的浆料或粉末状物料，能够实现温和可控的干燥效果。设备配备防爆设计和温度控制系统，可根据物料特性调节干燥参数，适用于中小批量的半导体材料干燥作业。

江苏博鸿半导体表面处理材料耙式真空干燥机 设备组成：

1.干燥室：主要用于容纳待干燥的物料。干燥室内部装有耙式搅拌器，帮助物料翻动，增大热传导面积。

2.耙式搅拌器：由主轴和耙齿组成，通过旋转搅拌物料，使物料均匀受热，防止结块或粘壁。

3.真空系统：包括真空泵、冷凝器等，用于维持干燥室内的真空环境，降低物料的干燥温度，避免热敏物料的分解或变质。

4.加热系统：通过蒸汽、热水或导热油等介质为干燥室提供热源，通常在夹套或内部设置加热管道，确保物料的加热均匀。

5.冷凝系统：用于冷却并回收蒸发出的溶剂或水分，避免溶剂直接进入真空泵，保护设备。

6. 出料系统：干燥后的物料通过底部或侧面的出料口排出，常带有手动或自动排料阀。

7. 控制系统：包括温度、压力、真空度等参数的监控与调节装置，以确保干燥过程的自动化和稳定性。